仪器设备指标
厂家	北京创威纳科技公司
型号	JS2S-80D
极限真空度	5.0′10-5Pa
真空室规格	ф480×180
功率源	射频电源1500W
	直流电源2000W
烘烤温度	￡300℃
溅射材料	SiO2, Al, 金属、
	非金属及化合物

联系途径
实验室	化学楼北楼408室
电话	2185753
E-mail:	yyang@xmu.edu.cn